真空泵抽氣速率定義及抽速和壓強的關(guān)系

真空泵的抽氣速率: 定義為在泵的進(jìn)氣口任意給定壓強下，單位時間內(nèi)流入泵內(nèi)的氣體體積

或表示為：

其中，Q為單位時間內(nèi)流入泵的氣體量。泵的抽氣速率S并不是常數(shù)，隨P而變。所以隨著抽氣的進(jìn)行，抽氣速率是減小的。這也是為什么選擇4L/s的真空泵，不能在10S鐘之內(nèi)將40L的容器抽到極限壓力的原因。

極限壓強：Pn(極限真空)

高工作壓強：Pm

工作壓強范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強范圍



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